WaveSensor®波前传感器
应用范围:
- 常规光学元件面形检测(平面、球面、透镜等)
- 大口径光学元件检测
- 光学系统像差检测
- 激光器输出波面检测
- 光束质量诊断
- 光束动态变化测量
- 自适应系统的波前探测
产品编号 | 750110 | 750111 | 750112 | 750113 |
产品型号 | WaveSensor®150 | WaveSensor®100 | WaveSensor®80 | WaveSensor®60 |
孔径尺寸 | 15mm×15mm | 15mm×15mm | 6.6mmx8.8 mm | 4.8mmx6.4 mm |
阵列透镜数 | 138×138 | 100×100 | 60 x 80 | 45 x 60 |
动态范围 | 2000 λ | > 1500 λ | > 1000 λ | > 800 λ |
倾斜测量灵敏度 | < 1μrad | < 1μrad | < 1μrad | < 1μrad |
绝对精度(RMS) | < λ/20 | < λ/20 | < λ/20 | < λ/20 |
重复性(RMS) | < λ/200 | < λ/200 | < λ/200 | < λ/200 |
波长 | 405-1100nm(可扩展至350nm) | |||
接口类型 | IEEE1394B | |||
产品尺寸 | 74 mm×100 mm×144 mm | |||
产品重量 | 1000 g | 1000 g | 800 g | 800 g |
WaveMaster® COMPACT紧凑型波前测量仪
应用范围:
- 各种球面或非球面镜片光学波前面和镜片或镜头的表面面形的检测。
产品编号 | 750114 | 750115 | 750116 |
产品型号 | WaveMaster® COMPACT | WaveMaster® COMPACT Reflex | WaveMaster® COMPACT Universal |
测量范围 | 球面、非球面镜片的光学波前面型 | 镜片、镜头的表面面型 |
球面、非球面镜片的波前质量 |
测量模式 | 透射式 | 反射式 | 反射式、透射式 |
精度指标 |
微透镜阵列:138×138 |
微透镜阵列:138×138 |
微透镜阵列:138×138 |
传感器类型 | WaveSensor 150 | ||
样品口径 |
6mm…14mm |
0.5mm…18mm | 6mm…14mm |
样品焦距 |
-12mm…50mm |
—— | -12mm…50mm |
样品半径 |
—— |
-50 mm…30mm |
—— |
光源 |
532nm |
635nm |
透射模块:532nm |
样品夹持器 | 单孔位,手动调节 |
WaveMaster® LAB Horizontal大口径研发型波前测量仪
应用范围:
- 适用于实验室内大口径精密镜头或镜片的波前测量。
产品编号 | 750117 |
测量项目 | 波前质量,泽尼克系数等 |
测量波长 | 532nm(其它要求可定制) |
波前传感器 | WaveSensor® 150(编号:750110) |
阵列透镜数量 | 138×138 |
波前测量精度 | 优于<λ/20(RMS) |
波前测量重复性 | 优于<λ/200(RMS) |
动态范围 | 2000λ |
数值孔径 | 0.55(其它要求可定制) |
被测样品直径 | 最大96mm(按客户要求定制) |
被测样品焦距 | 按客户要求定制 |
WaveMaster®PRO 2 量产型波前测量仪
应用范围:
- 生产线上的大批量镜头波前和表面面形的检测
- 晶圆级镜头的波前检测
产品编号 | 750118 | 750119 |
产品型号 | WaveMaster® PRO 2 | WaveMaster® PRO 2 Wafer |
应用范围 | 批量测量单个小镜片的波前质量 | 测量晶圆级镜片的波前质量 |
测量模式 | 透射式 | 透射式 |
空间分辨率 | 138×138 | 138×138 |
测量精度 | <λ/20 (RMS) | <λ/20 (RMS) |
测量重复性 | <λ/200 (RMS) | <λ/200 (RMS) |
动态范围 | 2000λ | 2000λ |
测量频率 | 12Hz | 12Hz |
测量时间 | < 3秒/颗 | < 3秒/颗 |
样品口径 | 6mm…14mm | 6mm…14mm |
样品焦距 | -12mm…50mm | -12mm…50mm |
光学波长 | 532nm | 532nm |
样品夹持器 | 托盘式,自动定位 多孔位(最多100个) |
托盘式,自动定位 晶体托盘(4”/6”/8”) 自动判定晶圆方向 |
WaveMaster® Smartgage小型表面面型检测仪
应用范围:
- 材料:玻璃、陶瓷、塑料和晶体的抛光面
- 加工过程:研磨抛光、玻璃或塑料注塑、精密车床加工
- 样品直径:球面为1…25.4mm、平面为5…25.4mm
- 样品反射率:1…100%
产品编号 | 750121 |
测量项目 |
反射式测量球面、平面镜片表面面型 (相对曲率半径(可选)) |
测量波长 | 635nm |
出射光束直径 | 1英寸(25.4mm) |
测量孔径 | f/1 和 f/2 |
测量时间 | ≤1秒 |
样品夹持器移动距离 |
Z-方向:80mm、X-方向:2mm 、Y-方向:2mm |
光强 | <1mW,手动可调 |
工作位置 | 仪器顶部,下光路照明模式 |
仪器精度RMS |
PV重复性:λ/100、RMS重复性:λ/500 |
尺寸 | 220mm×275mm×205mm |
重量 | 4.5kg |
电源 |
输入:90-264VAC/47-63Hz、输出:12VDC/15W |
温度 |
工作温度:18°- 30°、储存温度:10°- 35° |
相对湿度 | <80% |
产品配置:
基础配置 | 标准配置 | 高级配置 | |
可测量球面和平面样品 | + | + | + |
显示PV、RMS、泽尔尼克系数和塞德耳系数 | + | + | + |
显示合格/不合格 | - | + | + |
图像显示方式 | 2D | 2D | 2D |
相对曲率半径测量 | - | + | + |
测量数据协议发生器 | - | - | + |
测量数据输出方式 | - | USB | USB,LAN |
可使用用户自制工装 | - | - | + |
升级 | + | + | - |
WaveMaster® Field全视场型波前测量仪
WaveMaster® Field为研发所设计,该系统既可以在±60°范围内对整个视场内的样品进行全面测量,又可以进行后续的深入分析。只需几个步骤就可以对入射角和波长进行灵活调整,以模拟不断变化的照明条件,同样也易于适用不同的样品。
此外,离轴测量增加了对透镜定心的灵敏度,从而可以更精确地优化透镜对所需波前的定位。
产品特点 | 测量参数 |
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产品编号 | 750171 |
产品型号 | WaveMaster® Field |
应用范围 | 测量光学系统轴上及轴外的光学波前 |
测量模式 | 透射式 |
微透镜阵列 | 138×138 |
样品口径 | 0.5mm...14mm |
样品焦距 | -12mm...50mm |
被测样品像高 | ±20mm |
被测样品视场角 | ±60° |
光源 | 532nm |
测量精度 | <λ/20(RMS) |
测量重复性 | <λ/200(RMS) |
动态范围 | 2000λ |
测量频率 | 12Hz |
WaveMaster® UST全自动双远心波前测量仪
产品特点
- 对双侧远心透镜进行全自动波前测量
- 通过波前测量完成大型双侧远心透镜(重量高达300 kg)的离轴映射
- 适用于最大尺寸为70 x 45 mm²或100 x 100 mm²(图像平面)的场地
- 通过高度自动化实现简单快速的测量
产品编号 | 750172 |
产品型号 | WaveMaster® UST |
被测样品类型 | 双远心镜头 |
最大样品尺寸 | 1100mm×650mm×1200mm |
样品承载台 | 客户定制样品承载台 |
最大样品重量 | 450kg |
共轭面最大距离 | 1200mm |
最大像面尺寸 | 100mm×100mm |
最大物面尺寸 | 70mm×45mm |
波前传感器尺寸 | 根据应用优化的WaveSensor 150 |
光源 | Hg灯加干涉滤光片 |
WaveMaster® PLAN平面元件波前测量仪
产品特点
- 平面光学元件的综合波前分析
- 快速简便的测量:手动放置样品,并通过X-Y表进行调整
- 通过抗振结构实现稳定且与环境无关的测量系统
产品编号 | 750173 | 750174 |
产品型号 | WaveMaster® PLAN | WaveMaster® PRO 2 PLAN |
测量模式 | 透射式 | 透射式 |
测试波长 | 532nm | 532nm |
样品承载台 | 单孔手动定位 | 多孔位托盘 |
波前精度 | <λ/20(RMS) | <λ/20(RMS) |
波前重复性 | <λ/200(RMS) | <λ/200(RMS) |
动态范围 | 2000λ | 2000λ |
测量频率 | 16Hz | 取决于样品及托盘设计 |
微透镜阵列 | 138×138 | 138×138 |
样品口径 | 取决于望远镜 | 取决于望远镜 |
WaveMaster® IOL 2人工晶体波前测量仪
应用范围
- 人工晶体在空气中和模拟眼中的波前检测
- 屈光度和散光度的检测
- 低阶和高阶像差(泽尼克分析)的检测
- 像质(MTF)检测
- 环形人工晶体的轴偏差及标识自动识别
产品编号 | 750175 |
产品型号 | WaveMaster® IOL 2 |
测量方式 | 波前分析 |
模拟瞳孔口径范围 | 2.1mm..3.9mm |
测量波长 | 532nm |
波前精度 | <λ/20 (RMS) |
波前重复性 | <λ/200(RMS) |
屈光度测量范围 | +5D...+15D |
屈光度测量精度 | ±0.1D |
MTF测量范围 | +5D...+15D |
MTF测量精度 | ±3% |
样品定位方式 | 手动定位 |
附加选项 | 模拟眼 |