压电纳米显微镜平台
压电驱动器,通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环;高频率带来高速度。磁栅尺反馈实时位置,在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。
压电纳米显微镜平台是用于显微镜下做XY轴精密移动的超薄型压电纳米平台。联合光科的压电纳米显微镜平台具有内刹车功能,无回程间隙。联合光科也欢迎用户按需要定制产品。
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