压电纳米组合位移台
压电驱动器,通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环;高频率带来高速度。磁栅尺反馈实时位置,在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。
压电纳米组合位移台是根据需求组合而成的多轴组合位移台。联合光科的压电纳米显微镜平台紧凑、扁平的设计使定位器能轻松实现机械集成。联合光科也欢迎用户按需要定制产品。
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