压电纳米平移台
由压电马达驱动的位移台一般把马达安装在基座,而动子则是位移台台面的一部分,没有传统电磁马达(伺服或步进电机)驱动的位移台所需的丝杆或蜗轮蜗杆组部件,是一个直接驱动,没有回程间隙的驱动方式。由于压电陶瓷的形变量极小,可以达到非常高的平台位移精度,可以说压电马达驱动的位移台是名副其实的纳米位移台。
我司的压电纳米平移台产品包括成系列的50nm精度压电平移台、10nm精度压电平移台。我司纳米平移台均由压电马达驱动,并带位置反馈,可以实时显示平台的实际位置。根据需要,用户可以选配不同精度位置反馈和不同平台的组合。同时,也欢迎用户按需要定制产品。
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