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干涉物镜
干涉物镜是一种基于光干涉原理进行测量的显微物镜。它的主要用途是对物体表面的微观高度和三维形貌进行非接触、高精度的测量。
与普通成像物镜不同，干涉物镜内部集成了一套光学干涉系统。其核心工作原理是分振幅干涉。光源发出的光被物镜内部的分光镜分成两束：一束光照射到被测样品表面后反射回来（称为测量光）；另一束光照射到物镜内部一个极其平坦的参考镜面后反射回来（称为参考光）之后，这两束光重新汇聚并发生干涉。由于样品表面各点的高度不同，测量光返回的光程也随之不同。当它与参考光的光程差为波长的整数倍时，两束光相位相同，干涉相长，形成明条纹；当光程差为半波长的奇数倍时，相位相反，干涉相消，形成暗条纹。因此，最终在目镜或相机中看到的，是一系列明暗相间的干涉条纹图样。这些条纹的分布、形状和弯曲程度，直接对应着样品表面各点的高度信息，通过分析条纹图像，就能精确计算出表面的三维轮廓。
干涉物镜是表面计量学的关键工具，广泛应用于需要无损检测表面粗糙度、平整度、薄膜厚度和微观形貌的领域，例如半导体制造中的晶圆检测、精密光学元件的面型评估、材料表面的磨损分析，以及微机电系统（MEMS）器件的特性测量。
*分辨能力和物镜景深是根据基准波长λ=550nm计算得出的值。
与普通成像物镜不同，干涉物镜内部集成了一套光学干涉系统。其核心工作原理是分振幅干涉。光源发出的光被物镜内部的分光镜分成两束：一束光照射到被测样品表面后反射回来（称为测量光）；另一束光照射到物镜内部一个极其平坦的参考镜面后反射回来（称为参考光）之后，这两束光重新汇聚并发生干涉。由于样品表面各点的高度不同，测量光返回的光程也随之不同。当它与参考光的光程差为波长的整数倍时，两束光相位相同，干涉相长，形成明条纹；当光程差为半波长的奇数倍时，相位相反，干涉相消，形成暗条纹。因此，最终在目镜或相机中看到的，是一系列明暗相间的干涉条纹图样。这些条纹的分布、形状和弯曲程度，直接对应着样品表面各点的高度信息，通过分析条纹图像，就能精确计算出表面的三维轮廓。
干涉物镜是表面计量学的关键工具，广泛应用于需要无损检测表面粗糙度、平整度、薄膜厚度和微观形貌的领域，例如半导体制造中的晶圆检测、精密光学元件的面型评估、材料表面的磨损分析，以及微机电系统（MEMS）器件的特性测量。
*分辨能力和物镜景深是根据基准波长λ=550nm计算得出的值。
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