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齐焦45mm干涉物镜
联合光科推出的齐焦距离为45mm的干涉物镜，有Michelson和Mirau两种设计类型，提供2.5×~50×多种倍率可以选择，Na值从0.075~0.55，可与多数商用干涉仪主机快速匹配，集成简便。适用于需要无损检测表面粗糙度、平整度、薄膜厚度和微观形貌的领域，例如半导体制造中的晶圆检测、精密光学元件的面型评估、材料表面的磨损分析，以及微机电系统（MEMS）器件的特性测量。
*分辨能力和物镜景深是根据基准波长λ=550nm计算得出的值。
*分辨能力和物镜景深是根据基准波长λ=550nm计算得出的值。
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