电光Q开关.jpg)
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| 产品编号 | 750119 |
| 产品型号 | WaveMaster® PRO 2 Wafer |
| 应用范围 | 测量晶圆级镜片的波前质量 |
| 测量模式 | 透射式 |
| 空间分辨率 | 138×138 |
| 测量精度 | <λ/20 (RMS) |
| 测量重复性 | <λ/200 (RMS) |
| 动态范围 | 2000λ |
| 测量频率 | 12Hz |
| 测量时间 | < 3秒/颗 |
| 样品口径 | 6mm…14mm |
| 样品焦距 | -12mm…50mm |
| 光学波长 | 532nm |
| 样品夹持器 | 托盘式，自动定位 晶体托盘（4”/6”/8”） 自动判定晶圆方向 |
WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量的大批量检测的需求而研发的两款仪器，可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
应用范围：
- 生产线上的大批量镜头波前和表面面形的检测
- 晶圆级镜头的波前检测
