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μPhase®干涉仪
全欧光学μPhase®高精度干涉仪，是用来测量光学元件的面型的仪器，可测量平面、球面、圆柱面、复曲面和非球面等元件的面型，光学镜头的透射波前，球面镜的曲率等。可测量元件的材料有光学玻璃材料，塑料，陶瓷和金属等。干涉仪为非接触式测量，可保证获得对光学元件表面和波前的高精度数据的同时，不会损坏光学元件的表面，测量原理为泰曼格林型或菲索型。同时分析软件可对采集的数据进行离线分析和管理。产品基于模块化设计，为用户提供了非球面模块，圆柱分析模块，光纤连接模块，棱镜分析模块，楔形分析等模块以供选择，并可为用户提供模块化定制服务。μPhase®高精度干涉仪的典型应用为集成在单点金刚石车床中，对被加工工件进行在线实时检测，通过软件分析，弥补车床加工误差，以保证加工精度。产品还搭配了高分辨率相机，可选配多种镜头，标准波长632.8nm光源，并可对XYZ轴高精度调节。
μPhase®高精度干涉仪
μPhase®系列干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行较精确的评价。μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念，使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立，相互兼容，可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。
 μPhase®干涉仪主机 |
.jpg) μPhase® Vertical |
 μPhase |
 测量各种零件 |
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| μPhase® Vertical |
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直径最大55mm（采用50mm物镜μLens PLANO 50）
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| μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down |
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μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm；
μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm ；
μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半径（凸面）2mm— 225mm，直径 最大55mm ；
球面，曲率半径（凹面）-3mm—-570mm
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| μPhase® UNIVERSAL 100 | μPhase® Plano 300 |
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产品编号
产品名称
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μPhase® PRO紧凑型车间用干涉仪
新型μPhase® PRO干涉仪能够快速测量光学表面和波前，测量时间只需数秒钟。 该干涉仪操作简单，集成校准模式，测量迅速，是在线检测平面和球面样品的理想设备。
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产品应用 |
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产品编号
产品名称
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OptoFlat高精度低相位干涉仪
OptoFlat是行业内独有的低成本、高稳定性、高刚性以及结构紧凑的平面专用低相干干涉仪。其采用低相干性长寿命的633nm的LED光源，波长带宽1nm。在测量透明材质的双面平行光学原件的单个表面面型时不会受到其他表面的干涉条纹影响，所以OptoFlat可以排除来自多个表面的干扰，直接测得目标表面的面型精度。对于测量实心玻璃棱镜的前表面面型时也可以抑制其他反射面的影响的。
| 产品特点 |
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| 产品应用 |
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