产品基于模块化设计,为用户提供了非球面模块,圆柱分析模块,光纤连接模块,棱镜分析模块,楔形分析等模块以供选择,并可为用户提供模块化定制服务。
μPhase®高精度干涉仪的典型应用为集成在单点金刚石车床中,对被加工工件进行在线实时检测,通过软件分析,弥补车床加工误差,以保证加工精度。产品还搭配了高分辨率相机,可选配多种镜头,标准波长632.8nm光源,并可对XYZ轴高精度调节。
μPhase®高精度干涉仪
μPhase®干涉仪主机 |
μPhase® Vertical |
μPhase |
测量各种零件 |
- 模块化设计,结构紧凑;
- 测量适用性强,保证可以在各种工作与生产环境中进行检测;
- 可测量反射率0.3%-100%的光学表面,覆盖范围广;
- 数字化测量,避免人为损坏;
- 完美的结构,全面的软件,为生产及实验室提供支持;
- 独一无二的的产品特点:泰曼格林型/菲索型组合或用于校准样品的第二个相机,为μPhase系列干涉仪的使用提供了便利。
μPhase® Vertical | |
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μPhase® SPHERO UP, μPhase® PLANO UP,μPhase® Plano Down | |
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μPhase® UNIVERSAL 100 | |
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μPhase® Plano 300 | |
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μPhase® PRO紧凑型车间用干涉仪
产品应用
- 光学平面和球面样品的面形误差测量
- 镜头的透射波前测量
- 曲率半径测量3e
- 光学生产的质量控制
- 光学零件的进货检验
- 在线检测
OptoFlat高精度低相位干涉仪
产品应用
- 测量抛光光学表面的面型和透射波前
- 自动光强调节与FlexFlatTM传输平台相结合,减少了操作人员在测量时的干预
- 无需反复测量,无需扫描测试位置
- 与其他基于激光的Fizeau干涉仪不同,OptoFlat集成了长寿命的LED光源
- 内置专有的PurePhaseTM方法提升了在不稳定的振动环境中的干涉相位测量
- 校准过的低畸变1X和4X光学放大倍率的比例尺准确的测试面积尺寸,可自动标记或用户定义有效通光孔径,便于判定测试合格/不合格
- 简单易用的测试软件界面便于光学原件的批量测试,使任何人只要稍加培训就可以轻松测试多样的光学原件,专业的样品承载台可快速批量测试每个零件。非接触式传感器开始测量并能快速分析判断产品合格/不合格
- 设计简洁,占地小,没有杂乱的电缆,只有交流电源和USB电缆到电脑
产品编号 | 750179 | |
产品型号 | OptoFlat | |
放大倍率 | 1×放大倍率 | 4×放大倍率 |
有效测量区域 | Φ101.6mm | Φ25.4mm |
相机分辨率 | 1200×1200pixels | 1920×1200pixels |
相机频率 | 40Hz | |
空间采样 | 88μm/pixel | 22μm/pixel |
畸变 | 0.089% | 0.05% |
景深 | +/-12.6mm | +/-2.2mm |
RMS测量精度 | 0.1nm | |
RMS重复性 | 0.03nm | |
波长 | 633nm,lnm FWHM | |
相干深度 | 300um | |
工作距离 | 90mm | |
倾斜调整范围 | +/-2° | |
平移调整范围 | +/-8mm | |
样品承载台 | 175×175mm | |
轴向移动范围 | 65mm连续移动,100mm拆掉垫圈 | |
最大被测样品 | 100mm厚,5kg重 |