μPhase® ST/ST+R生产/研发专用干涉仪

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产品编号 750130
产品型号 µPhase® ST/ST+R
用途 研发、生产
被测样品类型 平面、球面
被测样品尺寸(测量范围) 最大50mm,样品大小取决于类型和测试镜头
被测样品最大重量 1.5kg
半径测量范围 约220mm、根据厚度测量曲率半径(模拟数字化)
半径测量精度 取决于厚度:0.5μm-5μm
校准工具 手动XY调节、倾斜台和z聚焦
尺寸(高x宽x深) 500mmx300mmx400mm、移动范围在160mm-300mm之间(取决于配置)
重量 20kg
新型μPhase® ST/ST+R生产/研发专用干涉仪能够快速测量光学表面和波前,测量时间只需数秒钟。 该干涉仪操作简单,集成校准模式,测量迅速,是在线检测平面和球面样品的理想设备。

产品应用

  • 用于测量平面和球面样品         
  • 可用于基于10mm和50mm的光学器件
  • 紧凑型桌面设置,用于垂直测量,占地面积小
  • 通过集成的倾斜和xy平移台实现样品优化校准
  • 垂直轴用于高精度调整,可粗调和微调
  • 可选半径测量功能

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