μPhase®系列干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行较精确的评价。
μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念，使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立，相互兼容，可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。
 
  产品特点： 

• 模块化设计，结构紧凑；
• 测量适用性强，保证可以在各种工作与生产环境中进行检测；
• 可测量反射率0.3%-100%的光学表面，覆盖范围广；
• 数字化测量，避免人为损坏；
• 完美的结构，全面的软件，为生产及实验室提供支持；
• 独一无二的的产品特点：泰曼格林型/菲索型组合或用于校准样品的第二个相机，为μPhase系列干涉仪的使用提供了便利。

μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down

• 用于测量不同的平面和球面光学零件
• 结构紧凑，占用空间下，可灵活的与产线结合   
• 操作直观而简单，适合非专业人士操作
• 测量范围：
  • μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm；
  • μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm ；
  • μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半径（凸面）2mm ~225mm，直径最大55mm ；球面，曲率半径（凹面）-3mm~-570mm