系统参数及测量精度 | |
被测样品直径 | 10~150mm |
编码器行程 | ±25mm |
测量范围 | 凸:﹢3mm~∞凹: -6~∞ |
编码器分辨率 | 0.1um |
编码器绝对精度 | ±0.05um |
曲率测量精度 | 0.005% |
精密球环材料 | 碳化钨 |
球环尺寸 | 7.8mm,14mm,20mm,28mm,38mm, 45mm,60mm,75mm,90mm,120mm |
平晶尺寸 | Φ12mm@λ/10;Φ20mm@λ/10;Φ25mm@λ/10; Φ30mm@λ/10;Φ50mm@λ/10;Φ100mm@λ/5; |