
Lens Thick非接触式光学测厚仪
设备介绍
LensThick光学测厚仪的操作简单,每次可轻松获得可靠的厚度值。测量数据经过数字信号处理器计算,通过USB传输到PC,再以图形的形式显示在用户界面,可直接读取每层厚度值,操作更简单、更直观。
测量过程 | ![]() |
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测量软件 |
光学测厚仪使用LensThick软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号,以便实时优化。 自动峰值模式:使用操作员创建的样品设计文件,可以定义最多32个反射面(31层)的预期峰值位置,软件可自动识别在指定的阈度内最接近预期峰值位置的峰值,从而计算并输出每层的厚度。此外,软件还带有判据功能,即超出设计值的公差范围,数据显示为红色。这些功能对质量控制是非常快速有效的。 |
![]() 软件界面 |
![]() 测量原理图 |
典型应用 | 主要优势 |
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规格参数 LensThick系列 | ||||||
型号 | 12-1 UP | 40-1 UP | 80-1 UP | 12-1 | 40-1 | 80-1 |
厚度测量 | ||||||
方法 | 非接触式光学干涉仪 | |||||
精度1,2 | ±0.1 μm | ±1 μm | ||||
重复性3,4 | ±0.02 μm | ±0.05 pm | ||||
最大量程(光程)5 | 12 mm | 40 mm | 80 mm | 12 mm | 40 mm | 80 mm |
最小厚度6 | 16 μm | 20 um | 24 μm | 35 μm | ||
测量频率 | 20 Hz | 7 Hz | 4 Hz | 20 Hz | 7 Hz | 4 Hz |
单位 | mm、μm | |||||
溯源 | NIM认证标准 | |||||
环境7 | ||||||
热机时间 | 无 | |||||
温度 | 15°C 到 30°C (存储-10°C 到 +70°C) | |||||
压力 | 500 一 900 mm Hg | |||||
湿度 | 在+40°C时<90% R.H.(无冷凝) | |||||
主机尺寸和重量 | ||||||
尺寸 | 570mmx700mmx590mm (长x宽x高) | |||||
重量 | 60kg | |||||
支架尺寸和数量 | ||||||
尺寸 | 330mmx430mmx685mm (长x宽x高) | |||||
重量 | 20kg | |||||
其他 | ||||||
功率 | 90-264 VAC, 47-63 Hz, 80 VA最大 | |||||
仪器接口 | USB2.0及以上接口最多可支持8通道测量 | |||||
电脑配置 | Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,键盘,鼠标 | |||||
保质期 | 1年 |
(2)整个运行环境条件的不确定性。
(3)60分钟测量周期的标准偏差。
(4)取决于被测材料在1.3um波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。当反射条件较低时,重复性最坏会降低到约±0.15um。
(5)折射率为1时。
(6)折射率为1.5的材料。
(7)特性性能,但不是一定的。