Lens Thick非接触式光学测厚仪12-1 UP
利用低相干光干涉测量方法来精确测量厚度,具有很好的空间定位特性
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产品型号 12-1-UP
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型号 | 12-1 UP |
厚度测量 | |
方法 | 非接触式光学干涉仪 |
精度1,2 | ±0.1 μm |
重复性3,4 | ±0.02 μm |
最大量程(光程)5 | 12 mm |
最小厚度6 | 16 μm |
测量频率 | 20 Hz |
单位 | mm、μm |
溯源 | NIM认证标准 |
环境7 | |
热机时间 | 无 |
温度 | 15°C 到 30°C (存储-10°C 到 +70°C) |
压力 | 500 一 900 mm Hg |
湿度 | 在+40°C时<90% R.H.(无冷凝) |
主机尺寸和重量 | |
尺寸 | 570mmx700mmx590mm (长x宽x高) |
重量 | 60kg |
支架尺寸和数量 | |
尺寸 | 330mmx430mmx685mm (长x宽x高) |
重量 | 20kg |
其他 | |
功率 | 90-264 VAC, 47-63 Hz, 80 VA最大 |
仪器接口 | USB2.0及以上接口最多可支持8通道测量 |
电脑配置 | Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,键盘,鼠标 |
保质期 | 1年 |
(1) 定义为测量不确定度或最大厚度误差,置信度≥99.7%。
(3) 60分钟测量周期的标准偏差。
(4) 取决于被测材料在1.3um波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。当反射条件较低时,重复性最坏会降低到约±0.15um。
(5) 折射率为1时。
(6) 折射率为1.5的材料。
(7) 特性性能,但不是一定的。
典型应用 | 主要优势 |
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测量过程 | ![]() |
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测量软件
光学测厚仪使用LensThick软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号,以便实时优化。
自动峰值模式:使用操作员创建的样品设计文件,可以定义最多32个反射面(31层)的预期峰值位置,软件可自动识别在指定的阈度内最接近预期峰值位置的峰值,从而计算并输出每层的厚度。此外,软件还带有判据功能,即超出设计值的公差范围,数据显示为红色。这些功能对质量控制是非常快速有效的。
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软件界面 | 测量原理图 |