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| 测量原理 | 泰曼格林型相移式干涉仪，可转成菲索型 |
| 测量能力 | 光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前 |
| 激光波长 | 标配632.8nm，335nm-1064nm间波长可选 |
| PV重复精度 | λ/400（λ=632.8nm） |
| RMS重复精度 | λ/6500（λ=632.8nm） |
| 测量不确定度 | λ/20（λ=632.8nm） |
| 相机分辨率 | μPhase® 500：500×500像素、μPhase® 1000：1000×1000像素 |
| 数字化位 | 8位 |
| 激光器类型 | 稳频氦氖激光器 |
| 激光器防护等级 | 3A |
μPhase®系列干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行较精确的评价。
μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念，使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立，相互兼容，可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。
产品特点：
μPhase® UNIVERSAL
μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念，使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立，相互兼容，可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。
产品特点：
- 模块化设计，结构紧凑；
- 测量适用性强，保证可以在各种工作与生产环境中进行检测；
- 可测量反射率0.3%-100%的光学表面，覆盖范围广；
- 数字化测量，避免人为损坏；
- 完美的结构，全面的软件，为生产及实验室提供支持；
- 独一无二的的产品特点：泰曼格林型/菲索型组合或用于校准样品的第二个相机，为μPhase系列干涉仪的使用提供了便利。
μPhase® UNIVERSAL
- 用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统
- 平面测量范围：最大98mm
- 球面测量范围：凹面曲率半径最大-3000mm（提供相应导轨）
- 半径测量系统集成导轨和光栅尺
- 与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容
- 适合长焦光学零件和系统的检测
- 可选旋转对称非球面的检测配件，检测范围10mm-80mm，CGH检测轮胎面、柱面等
