- 安装方式 OptoskandQBH,其它支架可定制
- 最小缺陷级别 5/1x0.004
- 最大样品尺寸 22mmdiameteror22x50mm
- 测试/处理时间 1s/<20s
- 图像尺寸 upto146megapixel
- 图像分辨率 0.0028mm/pixel
- 精度 1µm
- 可见度 1µm
- 重复精度 >99%for5/1x0.16;>96%for5/1x0.04
- 最小 5/1x0.004(麻点)
- 可分辨 5/C1x0.01(镀膜孔)
- 级别 5/L1x0.004(划痕)5/E0.04(崩边)
安装方式 | Optoskand QBH,其它支架可定制 |
最小缺陷级别 | 5/1x0.004 |
最大样品尺寸 | 22 mm diameter or 22 x 50 mm |
测试/处理时间 | 1 s / < 20 s |
图像尺寸 | up to 146 mega pixel |
图像分辨率 | 0.0028 mm / pixel |
精度
精度 | 1 µm | 同一样品重复插入30次测量的标准差 |
可见度 | 1 µm | 由于光 学分辨率原因最小可 观测缺陷可达2.5um |
重复精度 | > 99% for 5/ 1x0.16 > 96% for 5/ 1x0.04 |
同等级数赋值 |
最小 | 5/ 1x0.004 | 麻点 |
可分辨 | 5/ C1x0.01 | 镀膜孔 |
级别 | 5/ L1x0.004 5/ E0.04 |
划痕 崩边 |
产品特点
- 快速探测整个表面
- 测试符合标准
- 探测激光损伤
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直观图形界面 | 测试报告 | ||
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典型缺陷1 | 典型缺陷2 |