- 最小ISO规格 5/1x0.016;C1x0.04;L1x0.01;E0.04
- 重复性 >98%for5/1×0.16;>95%for5/1×0.04
- 可见度 <1μm
- 精度 <1μm
- 真实性 <2µm(dig);<1µm(scratch)
最小ISO规格 | 5/ 1x0.016; C1x0.04; L1x0.01; E 0.04 | 评估为指定麻点尺寸的16%和指定划痕尺寸的25%。 |
重复性 | >98% for 5/1×0.16 | 指定同等级 |
>95% for 5/1×0.04 | ||
可见度 | <1μm | 由于光学分辨率的重复性,小于2.5μm的可见缺陷被评定为等级0.0025。 |
精度 | <1μm | 相同参考样品30次重复插入的标准偏差 |
真实性 | < 2 µm (dig) | 检验结果接近真实值 |
< 1 µm (scratch) |
产品特点
- 快速检验整个表面
- 提高产出和品质
- 完全符合ISO 10110-7文件标准
选项 | 测试和验证 | 缺陷类型 | 便于使用 |
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典型缺陷 |
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(从左到右) 麻点 / 长划痕 / 密集缺陷 / 崩边 |
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玻璃上由聚焦离子束导致的缺陷参考 |
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校准 |