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产品编号 | 750151 |
产品型号 | OptiCentric®300 UP Bonding |
中心偏差测量精度 | ±0.2μm或±2″ |
中心偏差测量重复精度 | ±0.1μm或±1″ |
被测镜片R范围 | ±2000mm |
定心装调精度 | 优于2μm |
调节对准时间 | 约15s |
样品最大直径 | 400mm |
样品最大重量 | 450Kg |
气浮转台直径 | 400mm |
样品最大高度 | 1000mm |
气浮转台径向跳动量 | ≤0.1μm |
气浮转台轴向跳动量 | ≤0.1μm |
自动调整结构 |