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产品编号 | 750035 |
产品型号 | OptiCentric® Bonding Station 5D |
镜片直径范围1 | 10...180mm |
镜筒直径范围1 | 20...260mm |
最大镜片重量1 | 1kg |
最大镜筒重量1 | 20kg |
测量精度2 | x/y (Lens)<0.1µm;z < ±1µm ;x/y (Cell)< 0.2µm |
定位精度2 | x,y,z: <1µm;Θx/Θy < 2 |
加载样品及加工时间2,3 | <5min |
注:1.其它定制要求
2.取决于样品几何尺寸
3.没有紫外线固化时间
产品特性:
- 镜片在镜筒内五自由度的对齐
- 系统的定位精度:x /y/z<1 um θx , θy<2arcsec(镜头的对准精度取决于样品)
- 短周期时间<5min(不含点胶和紫外固化)
- 全自动对准过程
- 稳定的过程,产品品质独立于操作者
- 快速简易切换不同类型的样品
- 高精度要求的光学镜头组装