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产品编号 | 750026 |
产品型号 | OptiCentric® BondingStation 2D |
最大样品直径 | 150mm |
最大样品重量 | 15Kg |
导轨最大行程 | 450mm |
最大测量范围(R) | ±2000mm |
中心偏差测量精度 | ±0.2μm |
定心装调精度 | 优于2μm |