压电纳米角位移台
压电驱动器,通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环;高频率带来高速度。磁栅尺反馈实时位置,在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。
压电纳米角位移台是通过控制器驱动平台做弧度角度运动的压电纳米平台。联合光科的压电纳米角位移台均由压电马达驱动,并带位置反馈,可以实时显示平台的实际位置。根据需要,用户可以选配不同精度位置反馈和不同平台的组合。同时,也欢迎用户按需要定制产品。
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