【仪器介绍】
联合光科配备ZYGO Verifire MST干涉仪,可快速可靠的测量光学元件的表面形貌和平面度测量,以及光学元件(如窗口、反射镜、棱镜等)的波前,甚至可测量精密加工的金属和陶瓷表面的波前测量。
Verifire MST干涉仪采用波长调制技术,可同时测量多个表面的相位数据。提供平行窗口各表面的关键参数、透过波前以及总厚度变化、楔角和材料不均匀性。
【检测项目介绍】
- 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之前的测量,如TTV和楔角
- 薄至0.5mm的测试样件的表面形貌和厚度分析
- 1.2k×1.2k分辨率(包括分立变焦,可实现高达3倍的光学变焦)
- 工作波长为632.8nm
- 全口径测量精度λ/10
【提交信息】
使用本检测服务,可按下表准备检品信息及想检测的项目信息,提交检测申请或与我们联系获取报价:
检品信息 | *尺寸 | |
*厚度 | ||
材料 | ||
*有效口径 | ||
曲率半径 | ||
PV | ||
拟合移除 | ||
检测项目 | □ 透过波前 | □ 反射面型 |
□ 平行差 | □ 样品图纸 |