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ZYGO大口径激光干涉仪
我要检测
功能：检测光学元件面型、透过波前、平行度及抛光材料的均匀性
【仪器介绍】
联合光科配备ZYGO Verifire MST干涉仪，可快速可靠的测量光学元件的表面形貌和平面度测量，以及光学元件（如窗口、反射镜、棱镜等）的波前，甚至可测量精密加工的金属和陶瓷表面的波前测量。
Verifire MST干涉仪采用波长调制技术，可同时测量多个表面的相位数据。提供平行窗口各表面的关键参数、透过波前以及总厚度变化、楔角和材料不均匀性。
【检测项目介绍】
- 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之前的测量，如TTV和楔角
- 薄至0.5mm的测试样件的表面形貌和厚度分析
- 1.2k×1.2k分辨率（包括分立变焦，可实现高达3倍的光学变焦）
- 工作波长为632.8nm
- 全口径测量精度λ/10
【提交信息】
使用本检测服务，可按下表准备检品信息及想检测的项目信息，提交检测申请或与我们联系获取报价：
| 检品信息 | *尺寸 | |
| *厚度 | ||
| 材料 | ||
| *有效口径 | ||
| 曲率半径 | ||
| PV | ||
| 拟合移除 | ||
| 检测项目 | □ 透过波前 | □ 反射面型 |
| □ 平行差 | □ 样品图纸 |
