模块式主动减振器 | 联合光科
模块式主动减振器
模块式设计,能适用于更多需要安装配置的场合,外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型,弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合,提供出色的隔振效果;运动前馈与速度反馈控制结合,有效消减平台运动加速度,快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备,消减大质量滑块运动带来的振动;半导体设备,及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。

产品特点:
*安装方便,接入电源即可使用
*调节水平功能,操作简便
*模块化的主动减振器,可根据设备重量和尺寸,制作成各种平台
*6自由度振动信号实时检测,执行器提供推力,主动衰减振幅
*实时监控台面振动
模块式主动减振器

模块尺寸

单个负载能力

减振性能

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模块尺寸
单个负载能力
减振性能
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800×200×117mm
400kg
60%@2Hz,99%@10Hz
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¥100,000.00
369×388×188mm
700-1200kg
≤0db@2Hz,≤-0db@10Hz,≤-10db@20Hz
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我公司有两种类型的手册: 光学器件&光电仪器手册视觉成像手册

光学器件&光电仪器手册:手册中的产品包括有:光学元件、激光元件、光机元件、运动控制、成像元件、光源&激光光源、光电器件、测量仪器、光学材料等。除了这些标准产品外,还提供大尺寸超精密平面光学元件定制、球面光学定制、非球面光学定制、成像镜头设计定制、光学设计定制以及精密角度元件定制。
 

视觉成像手册:手册中的产品包括有:定焦镜头、远心镜头、变焦变倍镜头、线扫镜头、短波近红外镜头(SWIR)、360°外侧环视镜头、VIS-NIR镜头、中继镜、增距镜,远红外镜头、相机等。除了标准镜头产品外,还提供镜头的设计与开发。
 

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