直线位移台 台面宽度120mm 行程100mm 滚珠丝杆+直线导轨 真空专用
价格 ¥35,000.00
产品型号 526678
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- 行程 100mm
- 负载 20kg
- 分辨率 2.5μm
- 最小运动增量 3μm
- 单向重复定位精度(保证值) ±1μm
- 单向重复定位精度(典型值) ±0.5μm
- 双向重复定位精度(保证值) ±3μm
- 双向重复定位精度(典型值) ±2μm
- 准确度(保证值) ±12μm
- 准确度(典型值) ±6μm
- 最大速度 40mm/s
- 使用场景 真空专用
- 直线度 12μm
- 平整度 12μm
- Yaw-偏摆 30″
- Pitch-俯仰 30″
- 持续推力
- 峰值推力
- 重量 10.4kg
- 适配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264