直线位移台 台面宽度115mm 行程200mm 铝合金 直线电机+直线导轨 | 联合光科
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直线位移台 526669
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直线位移台 台面宽度115mm 行程200mm 铝合金 直线电机+直线导轨
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直线位移台 台面宽度115mm 行程200mm 铝合金 直线电机+直线导轨

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技术参数 相关产品 详情描述
行程 200mm
负载 10kg（最大负载）
分辨率 0.1μm
最小运动增量 0.3μm
单向重复定位精度(保证值) ±0.5μm
单向重复定位精度(典型值)  ±0.2μm
双向重复定位精度(保证值) ±1μm
双向重复定位精度(典型值)  ±0.5μm
准确度(保证值) ±2μm
准确度(典型值)  ±0.5μm
最大速度 200mm/s
使用场景 /
直线度 5μm
平整度 5μm
Yaw-偏摆 20″
Pitch-俯仰 20″
持续推力 17.6N
峰值推力 88N
重量 4kg
适配控制器 528259/528260/528261/528262/528263/528265/528253
直线位移台 台面宽度170mm 行程300mm 铝合金 直线电机+直线导轨

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直线位移台 台面宽度170mm 行程1000mm 铝合金 直线电机+直线导轨

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直线位移台 台面宽度90mm 行程38mm 铝合金 直线电机+交叉滚柱导轨

直线位移台 台面宽度90mm 行程38mm 铝合金 直线电机+交叉滚柱导轨
直线电机驱动平移台适用于行程范围在0-200mm之间的各项应用。 它结构坚固、性能卓越，广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节，其中包括 半导体晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。 与丝杠驱动的平移台不同，526669产品采用了中心驱动的高效3相同步无铁芯直线电机作为驱动元件。 这种驱动系统不仅能以超静音方式运行，还能提高系统的运行速度、加速度、响应灵敏度等。 避免了电机电刷和传动螺杆的磨损，无故障运行时间大于2万小时。 内部集成了高精度光栅尺作为位置反馈元件，控制器可对光栅尺信号进行插补以提高系统的定位灵敏度、重复定位精度和准确度。 位移台插电即用，控制器配备触摸显示屏方便调试与控制，接口丰富方便二次开发。

产品特点
(1) 行程覆盖：50mm、100mm、150mm与200mm。
(2) 坚固的台身设计可确保以200mm×200mm的最大行程进行可靠的XY轴组装。
(3) 高分辨率的光栅尺编码器反馈能以亚微米的可重复定位精度进行精确 定位。
(4) 超静音位移台，适用于实验室环境与高性能要求的工业场所。
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