电光Q开关.jpg)
| X / Y行程 | 500*500mm |
| Z向调焦距离 | ±20mm |
| XY闭环分辨率 | 5um |
| XY定位精度 | < 3 um |
| 静态平行度 | 0.1 m |
| 运动直线度 | 10 um |
| 运动平行度 | 15 um |
| 偏摆误差 | 30" |
| 俯仰误差 | 30" |
| 最大运动速度 | 100mm/s |
| 应用范围 | 二维扫描式成像/大面积样品多点探测 |
二维扫描平台主要由铝合金支架、电机XI、电机Y1、电机 Z1、电机X2、电机Y2、电机Z2、电机控制器、样品支架、 探头1、探头2组成，可以进行太赫兹透射谱、反射谱、反射 成像、透射成像的测量。
其中，样品支架用于放置待测样 品，电机XI、电机Y1用于控制探头1进行X、Y两个方向的平 移，电机X2、电机Y2用于控制探头2进行X、Y两个方向的平移，电机Z1、电机Z2分别可对探头1、探头2进行调焦，从而 适应不同的样品厚度。
其中，样品支架用于放置待测样 品，电机XI、电机Y1用于控制探头1进行X、Y两个方向的平 移，电机X2、电机Y2用于控制探头2进行X、Y两个方向的平移，电机Z1、电机Z2分别可对探头1、探头2进行调焦，从而 适应不同的样品厚度。
