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μPhase®干涉仪
μPhase®干涉仪
全欧光学μPhase®高精度干涉仪,是用来测量光学元件的面型的仪器,可测量平面、球面、圆柱面、复曲面和非球面等元件的面型,光学镜头的透射波前,球面镜的曲率等。可测量元件的材料有光学玻璃材料,塑料,陶瓷和金属等。干涉仪为非接触式测量,可保证获得对光学元件表面和波前的高精度数据的同时,不会损坏光学元件的表面,测量原理为泰曼格林型或菲索型。同时分析软件可对采集的数据进行离线分析和管理。产品基于模块化设计,为用户提供了非球面模块,圆柱分析模块,光纤连接模块,棱镜分析模块,楔形分析等模块以供选择,并可为用户提供模块化定制服务。μPhase®高精度干涉仪的典型应用为集成在单点金刚石车床中,对被加工工件进行在线实时检测,通过软件分析,弥补车床加工误差,以保证加工精度。产品还搭配了高分辨率相机,可选配多种镜头,标准波长632.8nm光源,并可对XYZ轴高精度调节。

μPhase®高精度干涉仪

μPhase®系列干涉仪用于测量高精度要求的光学零件,材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等,非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行较精确的评价。μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念,使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立,相互兼容,可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。

产品特点:


 μPhase®干涉仪主机
测量各种零件
  •  模块化设计,结构紧凑;
  •  测量适用性强,保证可以在各种工作与生产环境中进行检测;
  •  可测量反射率0.3%-100%的光学表面,覆盖范围广;
  •  数字化测量,避免人为损坏;
  •  完美的结构,全面的软件,为生产及实验室提供支持;
  •  独一无二的的产品特点:泰曼格林型/菲索型组合或用于校准样品的第二个相机,为μPhase®系列干涉仪的使用提供了便利。
   

μPhase® SPHERO UP, μPhase® PLANO UP,μPhase® Plano Down

  •  用于测量不同的平面和球面光学零件
  •  操作直观而简单,适合非专业人士操作
  •  测量范围:

            μPhase® Plano Down:平面φ≤2 mm 至 150 mm;

            μPhase® PLANO UP:平面φ≤2 mm 至 100 mm ;

            μPhase® SPHERO UP:球面,曲率半径(凸面)2mm—  225mm,直径 最大55mm ;

球面,曲率半径(凹面)-3mm—-570mm

  •  结构紧凑,占用空间下,可灵活的与产线结合   



 

μPhase® Vertical

  •  适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统
  •  立式检测,结构紧凑,占地面积小
  •  标配一个沿Z轴方向电动平移的平台,可选配第二个平台
  •  倾斜及X/Y平移精调
  •  可完成各种类型的反射与透射检测
  •  可采用透射法检测双胶合透镜
  • 凹面与凸面球面镜的检测范围:标准曲率半径范围:1mm-225mm,
直径最大55mm(采用50mm物镜μLens PLANO 50)
  •  集成半径测量单元
  •  可选CGH,用于测量非球面、柱面、轮胎面等
  •  Z轴方向设置导轨电机,电动升降
  •  曲率半径实现一键式自动测量
 

μPhase® UNIVERSAL 100

  •  用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统
  •  球面测量范围:凹面曲率半径最大-3000mm(提供相应导轨)
  •  平面测量范围:最大98mm
  •  半径测量系统集成导轨和光栅尺
  •  适合长焦光学零件和系统的检测
  •  与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容
  •  可选旋转对称非球面的检测配件,检测范围10mm-80mm,CGH检测轮胎面、柱面等

μPhase® Plano 300

  •  理想的大型平面的检测系统,光学材料的均匀性检测系统
  •  理想的成盘抛光分块镜面形检测系统
  •  测量范围60-300mm
  •  立式检测系统,其它检测方式根据要求可订制
  •  具有重型光学元件的支承、调整等操作功能。


 

μPhase® Plano Down

μPhase® Vertical

μPhase

 
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μPhase® PRO紧凑型车间用干涉仪

新型μPhase® PRO干涉仪能够快速测量光学表面和波前,测量时间只需数秒钟。 该干涉仪操作简单,集成校准模式,测量迅速,是在线检测平面和球面样品的理想设备。

产品应用

      
操作中的μPhase® PRO
         
μPhase® PRO工装
  • 光学平面和球面样品的面形误差测量
  • 镜头的透射波前测量
  • 曲率半径测量3e
  • 光学生产的质量控制
  • 光学零件的进货检验
  • 在线检测
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