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OHARA i线用高均匀性光学玻璃
i线用高均匀性光学玻璃具备优越的内透射率、是可尽量控制日晒（来自紫外线的着色）的高均匀性玻璃，适用于半导体制造设备（准分子激光扫描分步投影光刻机（stepper））和照明用等的相关设备。
1. 拍摄/投影
2. 测量设备
3. 太空/天文物体
4. 半导体相关
应用领域
1. 拍摄/投影2. 测量设备
3. 太空/天文物体
4. 半导体相关
产品编号
产品名称
规格参数
货期
对比
价格
购买
01. 内部透过率(τ)
表示玻璃透明度的，是不含表面反射损失的分光透过率(τ)，记载了365nm范围内的内透射率的保证数值。
02. 日晒
对对应照射前的分光透过率80%的波长范围而言，日晒程度以使用超高压水银灯照射后的分光透过率的减少量表示。关于详细测定方法和条件，请参阅“日本光学玻璃工业会规格(JOGIS)”。
03. 光学均匀性
对平行平面的玻璃而言，其均匀性可通过使用He-Ne激光干涉仪测定折射率的局所变化量Δn而得以保证。根据玻璃种类、尺寸、形状，Δn的保证数值会有所不同，因此Φ160以下、Φ210以下及Φ260以下各自表示保证数值。出货产品尺寸比25mm薄时，暂时以厚度25mm以上测定保证。
04. 折射率的误差
同一批次进行同一退火处理后的ni的误差规格，表示为小数点后的5位数。 表示例：±1 (×10⁻⁵)。
05. 性能公差
由于是特別规格，把比产品目录数值高的折射率作为基准，再以比基准值多加±20的公差作为折射率(ni)的容许范围，以小数点后5位数表示，表示例+20±20。
表示玻璃透明度的，是不含表面反射损失的分光透过率(τ)，记载了365nm范围内的内透射率的保证数值。
02. 日晒
对对应照射前的分光透过率80%的波长范围而言，日晒程度以使用超高压水银灯照射后的分光透过率的减少量表示。关于详细测定方法和条件，请参阅“日本光学玻璃工业会规格(JOGIS)”。
03. 光学均匀性
对平行平面的玻璃而言，其均匀性可通过使用He-Ne激光干涉仪测定折射率的局所变化量Δn而得以保证。根据玻璃种类、尺寸、形状，Δn的保证数值会有所不同，因此Φ160以下、Φ210以下及Φ260以下各自表示保证数值。出货产品尺寸比25mm薄时，暂时以厚度25mm以上测定保证。
04. 折射率的误差
同一批次进行同一退火处理后的ni的误差规格，表示为小数点后的5位数。 表示例：±1 (×10⁻⁵)。
05. 性能公差
由于是特別规格，把比产品目录数值高的折射率作为基准，再以比基准值多加±20的公差作为折射率(ni)的容许范围，以小数点后5位数表示，表示例+20±20。
