780100 产品规格书
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产品信息
二维扫描平台

产品编号:780100
产品描述
二维扫描平台主要由铝合金支架、电机XI、电机Y1、电机 Z1、电机X2、电机Y2、电机Z2、电机控制器、样品支架、 探头1、探头2组成,可以进行太赫兹透射谱、反射谱、反射 成像、透射成像的测量。
其中,样品支架用于放置待测样 品,电机XI、电机Y1用于控制探头1进行X、Y两个方向的平 移,电机X2、电机Y2用于控制探头2进行X、Y两个方向的平移,电机Z1、电机Z2分别可对探头1、探头2进行调焦,从而 适应不同的样品厚度。
规格参数
X / Y行程 500*500mm
Z向调焦距离 ±20mm
XY闭环分辨率 5um
XY定位精度 < 3 um
静态平行度 0.1 m
运动直线度 10 um
运动平行度 15 um
偏摆误差 30"
俯仰误差 30"
最大运动速度 100mm/s
应用范围 二维扫描式成像/大面积样品多点探测
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