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3D镜面间隔及中心偏差测量仪
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功能:非接触式测量光学系统中各中心偏差及空气间隔
 
系统参数及测量精度
镜面间隔测量范围 400mm(光程)600mm(光程)800mm(光程)
镜面间隔测量精度 ±1μm ±0.5μm ±0.15μm
镜面间隔重复精度 ±0.5μm ±0.25μm ±0.075μm
中心偏差测量模式 反射模式(透射模式可扩展)
中心偏差测量范围(EFL或R) ±5…±450mm(可扩展到±2000mm)
中心偏差测量精度 ±0.2μm或±2"
中心偏差重复精度 ±0.1μm或±1″
曲率半径测量精度 0.3%
曲率半径重复精度 0.2%
被测镜头最大直径 225mm


 
3D镜面间隔及中心偏差测量仪

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