系统参数及测量精度 | |||
镜面间隔测量范围 | 400mm(光程)600mm(光程)800mm(光程) | ||
镜面间隔测量精度 | ±1μm | ±0.5μm | ±0.15μm |
镜面间隔重复精度 | ±0.5μm | ±0.25μm | ±0.075μm |
中心偏差测量模式 | 反射模式(透射模式可扩展) | ||
中心偏差测量范围(EFL或R) | ±5…±450mm(可扩展到±2000mm) | ||
中心偏差测量精度 | ±0.2μm或±2" | ||
中心偏差重复精度 | ±0.1μm或±1″ | ||
曲率半径测量精度 | 0.3% | ||
曲率半径重复精度 | 0.2% | ||
被测镜头最大直径 | 225mm |