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50nm精度压电平移台 台面尺寸=60×60mm 行程=18mm

产品型号526650

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台面尺寸 60×60mm
行程 18mm
马达型号 M302/304
轴向推力 8/16N
最大负载 3kg
最大速度 200mm/sec
最小步距 50nm
重复定位精度 0.3μm
位置传感器 光栅或磁栅尺
直线度 <2μm
运动平行度 <10μm
材质 铝合金,阳极氧化
*压电超声波马达驱动,轴向推16N *采用不锈钢交叉滚柱轴承,具有高精密度、高重复性,高线性度 *断电自锁,内具刹车功能,无回程间隙 *最小步进距50nm *光栅尺位置传感器 *超薄紧凑型设计,方便机械集成,铝合金主体,阳极氧化处理
VS

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