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全面的波前测量解决方案

行业概述

光波在介质中传播时,光波同一时刻相位相同的所有点集合构成的面将其称为波前。

需求

实时测量光强分布、波前像差、 OTF 、 MTF 以及其它参数

技术难度

SpotOptics 提供全套夏克-哈特曼波前测试、分析及基于波前的主动光学装调(LENS AA)解决方案。
全面的波前测量解决方案
 

光波在介质中传播时,光波同一时刻相位相同的所有点集合构成的面将其称为波前。Shack-Hartmann夏特哈克曼波前传感器原理是通过微透镜阵列和放置在其焦平面的CCD,平行入射的光束经过每一个微透镜汇聚到CCD上,CCD上接收对应的聚焦点。理想的平面波经过微透镜后成像的位置作为对应的零点,畸变的波前聚焦成像点与零点的偏差可计算出波前的局部斜率。从这个信息中,可以实时测量光强分布、波前像差、 OTF 、 MTF 以及其它参数。
 

基于30年光学和激光检测应用经验,SpotOptics 提供全套夏克-哈特曼波前测试、分析及基于波前的主动光学装调(LENS AA)解决方案。
 

Spot Optics 夏克-哈特曼波前传感器可覆盖超宽光谱多波长,包括紫外(157nm-400nm)、可见近红外(400-1064nm)、短波红外(900-1700nm)、中波红外(2-5.4μm)和长波红外(8-14μm)。测量时不受口径限制(如果扩束系统受限,用准直物镜确保与传感器NA匹配);实现轴上和轴外波前测量,甚至扫描全视场,以及多视场同时测量;可测量多种出瞳形状:圆形、椭圆形、带中心遮拦(中心孔)、六边形等;
 

提供Single Pass、Double Pass两种测量光路来已满足不同应用要求;

IOPTINO系列波前传感器+电子自准直仪双通道,结构紧凑,尺寸仅150x100x50mm, 重量400g;电子自准直仪可用于光路调试。

Spotoptics波前传感器中的微透镜阵列可自行更换,以满足不同波长的测量需求。 

Spotoptics OMI系列波前传感器灵活多变用于研发、还有Optino、OPAL300、5 Stars、STELLA系列等波前测量系统应用于快速量产;

 

软件功能:提供实际波前,拟合波前和剩余波前;轴上轴外MTF、OTF、PSF;轴上轴外点列图;实时显示波前、Zernike系数(赛德尔初级像差、高阶像差)等,可用于指导装调;成熟完善的分析软件帮助实现实时主动装调(LENS AA);计算机辅助装调,软件提供反馈量计算功能;
 

应用范围
 

激光方面:可进行激光光束波前及光束质量分析,mW~MW,支持10.6um CO2激光;可替代光束质量分析仪使用,获得比光束质量分析仪更完整的激光波前信息;
 

天文望远镜:用于大型天文望远镜共位相误差测量,自带主动温度补偿;美国6.5米毫米波望远镜使用puntino测量波前;
 

高速测量:实时显示测量结果,较高速波前采集频率达到8000 Hz,可应用于分析ms级响应的液体镜头;还可进行变温下FFL变化量测试;变温下MTF测量;
 

其他应用:用于主动光学系统、自适应光学系统;光学元件均匀性测量,非球面等;非破坏性光学元件折射率测量,非球面测量等。


                                  

            IOPTINO系列2通道自准直波前传感器                                                          波前传感器与干涉仪对比验证                                                                IOPTINO系列2通道自准直波前传感器


可靠性验证

Spot Optics夏特哈克曼波前传感器通过与Zygo等各类品牌干涉仪对比验证,其结果具有可靠性。

平场(理想)波前经过光学镜片/系统后的产生畸变,畸变的波前到达波前传感器或干涉仪,左侧图表示干涉仪检测到的条
纹,右下图体现的是光点在波前传感器CCD的位移从而重构波前,软件计算泽尼克形变系数和MTF等。

 

对比试验数据(测试波长:632.8 nm):
 

Parameter参数/型号

Zygo GPIxp HR干涉仪

Optino Pro 波前测量系统

Difference 偏差

P-V (nm ) 93.2 100.2 7
Rms (nm ) 18.3 20.3 2
Defocus (nm ) -23.2 -19.9 -3.3
P-V (waves ) 0.1473 0.1596 0.011

实验结论:SpotOptics Optino基于Shack-Hartmann波前传感器原理测量系统, 给出了与Zygo干涉仪所得的测量结果非常一致的数据。
 

Spot Optics波前测量产品应用范围:

 1.  实时主动装调镜头,软件提供反馈量,自带计算功能

 2.  变温下MTF测量、FFL测量

 3.  激光光束波前及光束质量分析

 4.  天文望远镜共位相误差测量

 5.  高速波前采集

 6.  大型天文望远镜共位相误差测量

 7.  主动光学系统、自适应光学系统

 8.  光学元件均匀性测量(包括非球面)

 9.  非破坏性光学元件折射率测量(包括非球面)

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