526966 产品规格书
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产品信息
垂直升降台 台面宽度170mm 行程200mm 伺服电机

产品编号:526966
垂直升降台
联合光科提供各类升降台,包括步进电机升降台、直线电机升降台、伺服电机升降台,适用于行程范围在0-300mm之间的各项应用。526952和526953 是两款步进电机升降台,升降台的台面平行于安装面沿Z轴进行升降运动,它结构坚固、性能卓越。526954和526955是两款直线电机升降台,它的台面垂直于安装面,沿Z轴进行升降运动,结构简单且拥有极佳的微步能力和位置稳定性。升降台广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括 半导体晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。
位移台插电即用,控制器配备触摸显示屏方便调试与控制,接口丰富方便二次开发。
规格参数
行程 200mm
负载 20kg
分辨率 0.5μm
最小运动增量 1μm
单向重复定位精度(保证值) ±3μm
单向重复定位精度(典型值) ±1μm
双向重复定位精度(保证值) ±5μm
双向重复定位精度(典型值) ±3μm
准确度(保证值) ±20μm
准确度(典型值) ±15μm
最大速度 100mm/s
直线度 15μm
平整度 15μm
Yaw-偏摆 45″
Pitch-俯仰 45″
持续推力 /
峰值推力 /
重量 23.8kg
适配控制器 528273/528274/528275/528276/528277/528278
关于产品

1. 产品图均为渲染效果图,仅供参考。

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