526688 产品规格书
526688 产品规格书
产品信息
直线位移台 台面宽度180mm 行程50mm 直线电机+交叉滚柱导轨
产品编号:526688
产品描述
步进电机平移台适用于行程范围在0-1000mm之间的各项应用。 它结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括 半导体晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。 位移台插电即用,控制器配备触摸显示屏方便调试与控制,接口丰富方便二次开发。
规格参数
- 行程 50mm
- 负载 30kg
- 分辨率 0.05μm
- 最小运动增量 0.2μm
- 单向重复定位精度(保证值) ±0.3μm
- 单向重复定位精度(典型值) ±0.2μm
- 双向重复定位精度(保证值) ±0.6μm
- 双向重复定位精度(典型值) ±0.3μm
- 准确度(保证值) ±2μm
- 准确度(典型值) ±1μm
- 最大速度 100mm/s
- 使用场景 /
- 直线度 10μm
- 平整度 10μm
- Yaw-偏摆 20″
- Pitch-俯仰 20″
- 持续推力 47N
- 峰值推力 235N
- 重量 4.1kg
- 适配控制器 528259/528260/526261/528262/528263/526265/528253
关于产品
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