直线电机驱动平移台适用于行程范围在0-200mm之间的各项应用。 它结构坚固、性能卓越，广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节，其中包括 半导体晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。 与丝杠驱动的平移台不同，526667产品采用了中心驱动的高效3相同步无铁芯直线电机作为驱动元件。 这种驱动系统不仅能以超静音方式运行，还能提高系统的运行速度、加速度、响应灵敏度等。 避免了电机电刷和传动螺杆的磨损，无故障运行时间大于2万小时。 内部集成了高精度光栅尺作为位置反馈元件，控制器可对光栅尺信号进行插补以提高系统的定位灵敏度、重复定位精度和准确度。 位移台插电即用，控制器配备触摸显示屏方便调试与控制，接口丰富方便二次开发。

产品特点
(1) 行程覆盖：50mm、100mm、150mm与200mm。
(2) 坚固的台身设计可确保以200mm×200mm的最大行程进行可靠的XY轴组装。
(3) 高分辨率的光栅尺编码器反馈能以亚微米的可重复定位精度进行精确 定位。
(4) 超静音位移台，适用于实验室环境与高性能要求的工业场所。