516454 产品规格书
516454 产品规格书
516454 产品规格书
产品信息
气浮型模块式主动减振器 模块尺寸369×388×188mm

产品编号:516454
产品描述
模块式设计,能适用于更多需要安装配置的场合,外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型,弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合,提供出色的隔振效果;运动前馈与速度反馈控制结合,有效消减平台运动加速度,快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备,消减大质量滑块运动带来的振动;半导体设备,及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。
规格参数
模块尺寸 369×388×188mm
单个负载能力 700-1200kg
减振性能
传递率 ≤0db@2Hz,≤-0db@10Hz,≤-10db@20Hz
隔振范围
减振器共振频率 垂向:10-14Hz,水平:4-6Hz
调平方式 压力伺服阀+位移传感器
控制自由度 3轴6自由度
执行器 音圈电机
最大推力
稳定时间
电源 AC220V/50Hz
安装方式 推荐等边三角形、矩形布置
减振器工作气压 0.15-0.5MPa
机械硬限位 水平浮动±1.5mm,垂直浮动±0.6mm
重量 75kg
关于产品

1. 产品图均为渲染效果图,仅供参考。

2. 在购买夹持光学元件镜架时,请确定元件的尺寸及厚度,确保匹配。

3. 采购光学平台等产品,请联系我们确认搬运及安装事项。

4. 产品无质量问题,退换邮费需自行承担,退回时保持产品外观完好,性能无损伤,不影响二次销售;如产品有质量问题,请与我们联系。

5. 联合光科在您构建光学实验系统的过程中提供标准的配套光机元件,保证您高精度的机械需求同时方便您使用过程中快捷的进行元件的固定、替换和调整。我们也可根据您的需求进行特殊尺寸和规格的定制服务。

联合光科技(北京)有限公司 · 一站式光学器件现货供应商
+86-10-62112301
www.gu-optics.com