系统参数及测量精度 | |
电子自准直仪 | 有效焦距500mm,直径57mm |
自准直仪的精度 | 分辨率0.01,重复精度±0.05 |
样品台轴承 | 空气轴承(需压缩空气) |
编码器精度(in arcseconds) | 0.036,绝对精度0.2 |
样品台旋转方式 | 手动,自动 |
系统精度(in arcseconds) | 单次测量0.5,多次测量0.2 |
测量程序 | 反射式测量,透射式测量(可拓展),折射率测量(可拓展) |
系统参数及测量精度 | |
电子自准直仪 | 有效焦距500mm,直径57mm |
自准直仪的精度 | 分辨率0.01,重复精度±0.05 |
样品台轴承 | 空气轴承(需压缩空气) |
编码器精度(in arcseconds) | 0.036,绝对精度0.2 |
样品台旋转方式 | 手动,自动 |
系统精度(in arcseconds) | 单次测量0.5,多次测量0.2 |
测量程序 | 反射式测量,透射式测量(可拓展),折射率测量(可拓展) |