BM-10台式平台包装尺寸4.6英寸高，12英寸宽和深，无需通气通电，性能是全尺寸气浮平台的10-100倍。该隔振平台操作使用简单，且性能优异。它提供了一个1.5Hz或更低的水平本征频率和我们的标志性0.5Hz的垂直本征频率，只需进行两次调整。BM-10是新一代小型SPM的完美之选，这些SPM在非常紧凑的系统中要求最高的性能。它们也可以兼容洁净室和真空坏境。