526953 产品规格书
526953 产品规格书
产品信息
垂直升降台 台面宽度85mm 行程20mm 铝合金 滚珠丝杆+交叉滚柱导轨

产品编号:526953
产品描述
升降台适用于行程范围在0-100mm之间的各项应用。526952和526953 是两款步进电机升降台,升降台的台面平行于安装台面沿Z轴进行升降运动,它结构坚固、性能卓越。526954和526955是两款直线电机升降台,它的台面垂直于安装,沿Z轴进行升降运动,结构简单且拥有极佳的微步能力和位置稳定性。升降台广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括 半导体晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。
位移台插电即用,控制器配备触摸显示屏方便调试与控制,接口丰富方便二次开发。
规格参数
行程 20mm
负载 5Kg
分辨率 0.625μm
最小运动增量 2μm
单向重复定位精度(保证值) ±1μm
单向重复定位精度(典型值)  ±0.5μm
双向重复定位精度(保证值) ±2.5μm
双向重复定位精度(典型值)  ±1μm
准确度(保证值) ±15μm
准确度(典型值)  ±10μm
最大速度 10mm/s
直线度 15μm
平整度 15μm
Yaw-偏摆 30arcsec
Pitch-俯仰 30arcsec
持续推力 /
峰值推力 /
重量 1.2kg
适配控制器 28251/528252/528254/528255/528256/528257/528264
尺寸图
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