526660 产品规格书
526660 产品规格书
产品信息
直线位移台 台面宽度80mm 行程150mm 铝合金 滚珠丝杆+直线导轨

产品编号:526660
产品描述
直线电机驱动平移台适用于行程范围在0-150mm之间的各项应用。 它结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密的科研、工业生产环节,其中包括 半导体晶圆检查、微电子装置的测试和组装、抓取与放置、DNA定序或激光加工。 位移台插电即用,控制器配备触摸显示屏方便调试与控制,接口丰富方便二次开发。

产品特点
(1) 行程覆盖:50mm、100mm与150mm。
(2) 坚固的台身设计可确保以150mm×150mm的最大行程进行可靠的XY轴组装。
规格参数
行程 150mm
负载 10kg
分辨率 0.625μm
最小运动增量 1μm
单向重复定位精度(保证值) ±1μm
单向重复定位精度(典型值)  ±0.5μm
双向重复定位精度(保证值) ±3μm
双向重复定位精度(典型值)  ±1.5μm
准确度(保证值) ±15μm
准确度(典型值)  ±8μm
最大速度 10mm/s
使用场景 /
直线度 15μm
平整度 15μm
Yaw-偏摆 30″
Pitch-俯仰 30″
持续推力 /
峰值推力 /
重量 2kg
适配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264
尺寸图
关于产品

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