功能:测量平面、球面、柱面元件的曲率半径、面形、以及透过波前
GPI XP/D系统参数及测量精度 | |
测量光束直径 | 4"(102mm) |
激光类型 | 632.8nm II级 氦-氖激光 |
测量重复性 | Lambda/100@632.8nm |
RMS重复性 | 2Lambda/10000@632.8nm |
数据采样 | 640x480像素,8位。(可拓展:1024x1024像素) |
测量精度Zygo GPI XP/D标准镜头性能参数(直径102mm) | |
平面标准镜头精度 | Lambda/20@632.8nm |
球面标准镜头精度 | Lambda/10@632.8nm |
球面标准镜头F数 | F/0.65,F/1.6,F/3.3,F/7.1 |