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Zygo激光干涉仪
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功能:测量平面、球面、柱面元件的曲率半径、面形、以及透过波前
 

GPI XP/D系统参数及测量精度
测量光束直径 4"(102mm)
激光类型 632.8nm II级 氦-氖激光
测量重复性 Lambda/100@632.8nm
RMS重复性 2Lambda/10000@632.8nm
数据采样 640x480像素,8位。(可拓展:1024x1024像素)
测量精度Zygo GPI XP/D标准镜头性能参数(直径102mm)
平面标准镜头精度 Lambda/20@632.8nm
球面标准镜头精度 Lambda/10@632.8nm
球面标准镜头F数 F/0.65,F/1.6,F/3.3,F/7.1
Zygo激光干涉仪

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